表面微细加工技术指那些能够制造微小尺寸元器件或薄膜图形的方法，微细加工的加工尺寸一般在亚毫米(常指低于100微米)至纳米级范围内，而加工的单元则从微米级、纳米级到原子级。 根据微细加工的机理不同，可以将其分为三种类型：①分离型或者去除型加工，即以分解、蒸发、溅射、刻蚀、切削、破碎等方法将材料中所希望去掉的部分分离出来的加工方法;②生长型加工方法，即以一种材料作为基材，在其上添加另一'种材料，形成所需的形状或图形的加工方法，按此定义，物理气相沉淀、化学气相沉淀、离子注入、电镀、化学镀都属于微细加工技术;③变形加工，指材料形状发生变化的加工，如塑性变形、流体变形等。许多的微细加工是通过前两种方式的组合来完成的，如先沉积导电薄...