三维纳米结构的加工与应用研究取得进展
Au薄膜三维纳米结构中的近红外超灵敏折射率传感特性本报讯近期,中国科学院物理研究所北京凝聚态国家实验室微加工实验室工程师刘哲、副主任工程师李无瑕、主任工程师李俊杰和博士生崔阿娟及研究员顾长志等人系统地开展了基于聚焦离子束技术的三维纳米结构与器件的可控加工技术研究,并取得了一系列的进展。三维纳米结构既可具有纳米材料与结构所赋予的量子效应、尺寸效应与表面效应等新奇物性,又可通过三维几何结构实现电声子输运与耦合、自旋极化、激子行为、波阵面调控等物性的协同调制,获得平面器件不具有的功能。目前,三维纳米结构的可控加工方法明显不足,阻碍了三维纳米器件的发展,并制约着高端纳米产业化技术的形成。为获得性能优异的三维纳米结构与器...